WEKO3
アイテム / Growth and characterization of SiC films by hot-wire chemical vapor deposition at low substrate temperature using SiF4/CH4/H-2 mixture / JJAP1
JJAP1
ファイル | ライセンス |
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JJAP1 .pdf (243.8 kB) sha256 77a905be44fd68a257ea816d44422dcb719afa9dfe51f70e2842a85e64f3b899 |
公開日 | 2008-09-17 | |||||
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ファイル名 | JJAP1 .pdf | |||||
本文URL | https://soar-ir.repo.nii.ac.jp/record/12652/files/JJAP1 .pdf | |||||
ラベル | JJAP1 .pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 243.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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